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無塵室等級劃分介紹

【無塵室小知識】：
依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，?？蓪o塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室*大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。
簡單來說，舉例說明我們熟悉的無塵室的要求和環(huán)境：
1級，目前國內(nèi)很少。
10級，部分無塵布工廠、晶圓工廠的部分制程、硬盤工廠的部分特殊制程。
100級，液晶屏Panel制程、硬盤工廠大部分制程、半導(dǎo)體測試和封裝的大部分制程。
1000級，液晶屏LCM制程、硬盤工廠后道制程、半導(dǎo)體封裝后道制程、部分電子廠部分制程。
10000級及以下，比較多場合，包括制藥廠GMP車間（另多了無菌要求）。

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無塵室等級劃分介紹

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